Fördelar
• CS100-produkterna är skräddarsydda för kunden,
• Kunden kan välja ±15V dubbel strömförsörjning eller +24 enkel strömförsörjning efter behov;
• metalltätningar eller gummitätningar;
• Produktstorlekar kan användas för produkter som uppfyller de internationellt allmänna SEMI-standarderna eller för spänningsprodukter.
Tekniska parametrar
CS100 |
||||||||||||||
Modellnummer |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
Typ av ventil |
Ofta stängt |
Inget |
Ofta stängt |
Inget |
||||||||||
Flödesspecifikationer (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
Noggrannhet |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
|||||||||||||
Linjärt |
±0.5% F.S. |
|||||||||||||
Upprepad precision |
±0.2% F.S. |
|||||||||||||
Svartid |
≤ 1sec |
|||||||||||||
Arbetstryckskillnad |
0.05~0.35MPa; Flödesspecifikationer ≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; Flödesspecifikationer ≤10SLM |
<0.02 MPa |
||||||||||
Temperaturfaktorer |
Nullpunkt: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Vid justering: ≤ ± 0,1% FS / ℃ |
|||||||||||||
Tryckbeständighet |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
Läckandel |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
|||||||||||||
Tätningsmaterial |
Fluorgummi |
Metalltätning |
||||||||||||
Maximalt arbetstryck |
0.45MPa |
|||||||||||||
Arbetsmiljötemperatur |
(5~45)℃ |
|||||||||||||
Inmatningssignal |
Simulering: |
Nummer: RS485 |
Inget |
Inget |
Simulering: |
Nummer: RS485 |
Inget |
Inget |
||||||
Utgångssignal |
Simulering: |
Nummer: RS485 |
Simulering: (0-5) VDC |
Nummer: RS485 |
Simulering: |
Nummer: RS485 |
Simulering: |
Nummer: RS485 |
||||||
Strömanslutningsform |
Typ D 9 nålar Typ D 15 nålar |
Typ D 9 nålar Typ O 3 nålar |
Typ D 15 nålar |
Typ D 9 nålar Typ D 15 nålar |
Typ D 9-nålskoppling; O-typ 3-nålskoppling |
Typ D 15-nålskoppling |
Typ D 9 nålar Typ D 15 nålar |
Typ D 9 nålar Typ O 3 nålar |
Typ D 15 nålar |
Typ D 9 nålar Typ D 15 nålar |
Typ D 9-nålskoppling; O-typ 3-nålskoppling |
Typ D 15-nålskoppling |
||
Strömförsörjning |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
||
Rensa automatiskt |
Stöd |
|||||||||||||
Ytarens grovhet |
25μinch Ra |
|||||||||||||
Standardanslutningsform |
Dubbel kortsats φ6; Dubbel kortsats φ3; Dubbelkortsförpackning 1/4'; dubbelkort 1/8'; VCR1/4´ solkoppling; φ6 (inre) x1 slangförbindning; φ5 (inre) x1,5 slang koppling; φ4 (inre) x1 slangförbindning |
VCR1/4″ solkontakt |
||||||||||||
Vikt |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |