OTL-PECVD-1200-1400-1200 PECVD-system med tre temperaturzoner, bestående av tre glidbara vakuumrör, kvarts vakuumkummer, radiofrekvensströmförsörjning, GX-gasförsörjningssystem, pumpsystem, vakuummätningssystem och elektrisk dragmekanism.

Huvudfunktioner:

1, genom radiofrekvent strömförsörjning att förvandla gassen i kvarts vakuumkummer till jontillstånd.

PECVD är lägre än vanlig CVD för kemisk gasavfallning

3, kan kontrollera spänningsstorleken på den depositerade filmen genom frekvensen av radiofrekvensströmförsörjningen

PECVD är högre än vanlig CVD för kemisk gasavfallshastighet, god enhetlighet, hög konsistens och stabilitet.

Används i stor utsträckning i: tillväxt av olika tunnfilmer, såsom: SiOx, SiNx, SiOxNy och amorphous silicon (a-Si: H) etc.

Detta PECVD-system med tre temperaturzoner är ett PECVD-system som kan värma och kyla snabbt, är ett par elektriska glidspår installerade i tre rörugnar och ett elektriskt glidsystem är tillgängligt. Uppvärmnings- och kylhastigheter upp till 100 °C/min. För snabbaste uppvärmning kan ugnen förhärmas till den inställda temperaturen och sedan flyttas till provetSätt. För snabbaste kylning kan ugnen flyttas till andra änden efter att provet har uppvärmts. Uppvärmnings- och kylhastigheter kan uppnås i vakuum- eller inertgasmiljö10 ° C / s är ett PECVD-system med dubbel temperatur för snabb uppvärmning och kylning till låg kostnad.

Detta PECVD-system med tre temperaturzoner använder svenska Kanthal-motståndstrådar och silikon-kolstangar som värmeelementer, med dubbel husstruktur och 30-stegs programtemperaturmätare, fasförskjutning, styrbar silikon-kontroll, ugnen använder japanskt importerat polykristallint aluminiumfibermaterial, ugnröret i båda änden är förseglad med rostfritt stål, flänsar i rostfritt stål är installerade med luftmunning, ventilOch tryckmätare, pumpa vakuum vid vakuum kan nå 10-3 Pa, delas upp i två temperaturzoner, två temperaturzoner kan kontrolleras oberoende, inställa olika temperaturer, lätt att använda, enkel drift, ugnen har temperaturfältsbalans, yttemperatur låg, lyft temperatur snabb, energibesparing och andra fördelar, är universitet, forskningsinstitut, gruvföretag göra hög temperatur atmosfär bränna Den idealiska produkten för knuter, tillväxt av grafen och tillväxt av olika tunna filmer.

(1), silikon kolstangen varm tjocklek d är 14mm, den allmänna tillverkaren använder 12mm, värme tjockt, inte lätt att böja, stangen ytbelastning är låg, lång livslängd.

（2), m kall längd är 210 mm, den allmänna tillverkaren använder 180 mm, kall längd ugnstoppstemperatur är låg.

(3), silikon kolstang yta oxidation icke-kristallin film tät, kan bättre skydda kolstangen.

Öppnas automatiskt när kretsen överströmmar eller läcker

Den atmosfäriska rörugnenKanUtrustad med kommunikationsgränssnitt och programvara, kan du direkt kontrollera olika parametrar i ugnen genom datorn, och kan observera driften av PV- och SV-temperaturvärden och mätaren på ugnen från datorn, kommer ugnens faktiska uppvärmningskurva att ritas i realtid och kan spara temperaturdata för varje ögonblick, när som helst

(1), hög kvalitet högren aluminiumoxid polykristallin fiberhärdning ugn för vakuumfiltrering.
2) Användning av japansk teknik.
(3) låg värmekapacitet, låg värmeledningskoefficient, vilket gör att värmen avkopplas lite, isoleras bra och reflekteras högt. Värmebalans.
(4), ugn aluminiumoxid tråd fin och lång, hög temperaturbeständighet, motstånd mot värmeökning och kraftig kylförmåga
(5), ugnsidan är ren, inte lätt att ta bort pulver.

(Alla importerade apparater är UL-certifierade)