OTL-PECVD-1200PECVD-systemet består av OTL1200 vakuumrörugn, kvarts vakuumkammer, radiofrekvent strömförsörjning, GX-gasförsörjningssystem, pumpsystem och vakuummetssystem.

Huvudfunktioner:

1, genom radiofrekvent strömförsörjning att förvandla gassen i kvarts vakuumkummer till jontillstånd.

PECVD är lägre än vanlig CVD för kemisk gasavfallning.

3, kan kontrollera spänningsstorleken på den depositerade filmen genom frekvensen av radiofrekvensströmförsörjningen.

PECVD är högre än vanlig CVD för kemisk gasavfallshastighet, god enhetlighet, hög konsistens och stabilitet.

Används i stor utsträckning i: tillväxt av olika tunnfilmer, såsom: SiOx, SiNx, SiOxNy och amorphous silicon (a-Si: H) etc.

OTL-PECVD-1200 PECVD-system med svensk Kanthal-motståndstråd som värmeelement, med dubbelskikts husstruktur och 30 program temperaturmätare, fasförskjutning, styrbar silikon kontroll, ugnen använder polykristallin aluminiumoxid material, ugnen rör båda ändarna kan täta rostfritt stål fläns, rustfritt stål fläns installerad luftmunning, ventil och tryckmätare, vakuum vid pumpning kan nå 10-3 Pa, med temperaturfältsbalans, låg yttemperatur, lyftning och nedladdning av temperaturen snabb, energibesparing, billigt pris och andra fördelar.

(3), motståndsbalans, bra temperaturfältsbalans

(4) Värmekomponenter: importerad Kanthal A1-tråd (tråd med 2 års garanti)

Öppnas automatiskt när kretsen överströmmar eller läcker

Ugnen är utrustad med kommunikationsgränssnitt och programvara, kan direkt kontrollera olika parametrar i ugnen genom datorn, och kan observera från datorn på ugnen PV och SV temperaturvärden och instrumentets drift, ugnens faktiska uppvärmningskurva kommer att ritas i realtid och kan spara temperaturdata i varje ögonblick, när som helst kan justera vakuum.

2) Användning av japansk teknik.

(3), avstånd och avstånd av motståndstrådar i ugnen är alla anordnade enligt den bästa japanska termiska tekniken, genom termisk programvara för att simulera temperaturfältet

(4) 4 veckors uppvärmning, mer balanserad temperatur

(Alla importerade apparater är UL-certifierade)